ULVAC愛發(fā)科離子真空計(jì)EtherCAT規(guī)格

皮拉尼真空計(jì)基于氣體熱傳導(dǎo)性與壓力相關(guān)的原理工作，ULVAC 愛發(fā)科通過優(yōu)良的制造工藝與技術(shù)優(yōu)化，極大提升了測量精度。其能夠精準(zhǔn)測量從低真空到中真空范圍的壓力值，精度可達(dá)滿量程的 ±1% 甚至更高 。例如在半導(dǎo)體制造工藝?yán)铮瑢φ婵窄h(huán)境要求嚴(yán)苛，ULVAC 愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)可精確反饋真空室內(nèi)的壓力變化，為諸如物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等工藝提供穩(wěn)定且準(zhǔn)確的真空度數(shù)據(jù)，確保薄膜沉積的均勻性與一致性，有助于提升芯片制造的良品率與性能。

快速響應(yīng)

該真空計(jì)具備快速的響應(yīng)特性，能在極短時(shí)間內(nèi)感知真空系統(tǒng)內(nèi)壓力的細(xì)微變化，并及時(shí)輸出對應(yīng)的測量信號(hào)。一般情況下，其響應(yīng)時(shí)間可在毫秒級別，這使得操作人員能夠迅速了解系統(tǒng)內(nèi)的真空狀態(tài)變化 。在需要頻繁調(diào)整真空度的科研實(shí)驗(yàn)或工業(yè)生產(chǎn)過程中，快速響應(yīng)的皮拉尼真空計(jì)可以讓相關(guān)人員及時(shí)對真空設(shè)備進(jìn)行調(diào)控，避免因反應(yīng)滯后導(dǎo)致的工藝偏差。如在真空鍍膜過程中，能實(shí)時(shí)監(jiān)測鍍膜腔室壓力變化，及時(shí)調(diào)整鍍膜參數(shù)，保證鍍膜質(zhì)量。

寬量程適用

ULVAC 愛發(fā)科皮拉尼真空計(jì)覆蓋了較寬的壓力測量范圍，通常可從大氣壓一直測量至 10?3 Pa 甚至更低的真空度 。這種寬量程的設(shè)計(jì)使其適用于多種不同應(yīng)用場景。在食品真空包裝行業(yè)，可用于檢測包裝過程中的真空度，從初始抽氣階段的較高壓力，到最終密封前接近高真空的狀態(tài)，都能準(zhǔn)確測量；在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，無論是芯片制造前的真空腔室準(zhǔn)備，還是后續(xù)精密工藝過程中的真空監(jiān)測，寬量程的皮拉尼真空計(jì)都能全程提供可靠的壓力數(shù)據(jù)。

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