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當前位置:首頁產(chǎn)品中心儀器儀表ULVAC愛發(fā)科SP1中村代理日本ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計

中村代理日本ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計
產(chǎn)品簡介:

中村代理日本ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計
皮拉尼真空計,可以測量從大氣壓到5×10-2Pa的廣泛的壓力范圍
該真空計從傳統(tǒng)的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,最大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。

產(chǎn)品型號:SP1

更新時間:2025-09-03

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

訪問量:178

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產(chǎn)品介紹

中村代理日本ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計

皮拉尼真空計基于氣體熱傳導(dǎo)性與壓力相關(guān)的原理工作,ULVAC 愛發(fā)科通過優(yōu)良的制造工藝與技術(shù)優(yōu)化,極大提升了測量精度。其能夠精準測量從低真空到中真空范圍的壓力值,精度可達滿量程的 ±1% 甚至更高 。例如在半導(dǎo)體制造工藝里,對真空環(huán)境要求嚴苛,ULVAC 愛發(fā)科皮拉尼真空計可精確反饋真空室內(nèi)的壓力變化,為諸如物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)等工藝提供穩(wěn)定且準確的真空度數(shù)據(jù),確保薄膜沉積的均勻性與一致性,有助于提升芯片制造的良品率與性能。

快速響應(yīng)

該真空計具備快速的響應(yīng)特性,能在極短時間內(nèi)感知真空系統(tǒng)內(nèi)壓力的細微變化,并及時輸出對應(yīng)的測量信號。一般情況下,其響應(yīng)時間可在毫秒級別,這使得操作人員能夠迅速了解系統(tǒng)內(nèi)的真空狀態(tài)變化 。在需要頻繁調(diào)整真空度的科研實驗或工業(yè)生產(chǎn)過程中,快速響應(yīng)的皮拉尼真空計可以讓相關(guān)人員及時對真空設(shè)備進行調(diào)控,避免因反應(yīng)滯后導(dǎo)致的工藝偏差。如在真空鍍膜過程中,能實時監(jiān)測鍍膜腔室壓力變化,及時調(diào)整鍍膜參數(shù),保證鍍膜質(zhì)量。

寬量程適用

ULVAC 愛發(fā)科皮拉尼真空計覆蓋了較寬的壓力測量范圍,通常可從大氣壓一直測量至 10?3 Pa 甚至更低的真空度 。這種寬量程的設(shè)計使其適用于多種不同應(yīng)用場景。在食品真空包裝行業(yè),可用于檢測包裝過程中的真空度,從初始抽氣階段的較高壓力,到最終密封前接近高真空的狀態(tài),都能準確測量;在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域,無論是芯片制造前的真空腔室準備,還是后續(xù)精密工藝過程中的真空監(jiān)測,寬量程的皮拉尼真空計都能全程提供可靠的壓力數(shù)據(jù)。

中村代理日本ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計

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